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n功能介绍：ü研究包括绝缘体在内的固体材料表面纳米级结构信息n性能指标：ü样品要求：样品直径小于150mm，厚度小于15mmü扫描范围：（X,Y)90µm/90µm，（Z）10µmü横向···
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n功能介绍：
ü研究包括绝缘体在内的固体材料表面纳米级结构信息
n性能指标：
ü样品要求：样品直径小于150mm，厚度小于15mm
ü扫描范围：（X,Y)90µm/90µm，（Z）10µm
ü横向分辨率：0.2nm
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